深入了解CMP抛光液
精密的抛光质量
均匀的球形SiO2 粒子，能达到较好的Ra和TTV效果。
去除率高
在CMP的化学机械抛光作用下化学作用稳定。
寿命长
抛光液可循环使用多次且抛光性能稳定。
产品参数
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基本参数
型号 粒度 颗粒形貌 pH值 粘度 浓度 包装 SOQ-12D 90nm-110nm 球形 - <20cst 20% - SO-100-PF 90nm-110mm 10.5±0.5 <10cst 20-50% 5kg 20kg SO-80-PF 70nm-90m SO-60-PF 50nm-70nm SO-40-PF 30nm-50nm SO-20-PF 10nm-30nm <30cst 10-40% 测试方法 激光粒度仪 SEM/TEM pH 计 粘度计 比重计 除以上规格外，可根据您的需求提供定制产品。 联系我们
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